Экспериментальное исследование взаимодействия ионизованных кластеров аргона с поверхностью оптических материалов.

Аннотация

Экспериментальное исследование формирования газоструйного пучка ионизованных кластеров аргона с заданными параметрами и установление закономерностей его взаимодействия с поверхностью оптических материалов.
Определены условия формирования пучка ионизованных кластеров с заданными параметрами: средний размер кластеров Nmean= 100–1000 атомов/кластер, полная кинетическая энергия кластеров E до 22 кэВ.
Исследованы характеристики ионно-кластерного пучка аргона (интенсивность, функции распределения по размерам кластеров) при различных условиях формирования кластеров.
Проведен комплексный анализ эффективности воздействия кластерных ионов (коэффициенты распыления, скорости травления) на поверхность оптических материалов при различных параметрах кластеров и различных условиях облучения: угол падения 0–80°, доза облучения от 10^12 до 10^17 кластерных ионов/см2.
Выявлены закономерности взаимодействия несепарированного по размерам ионно-кластерного пучка аргона с поверхностью оптических материалов и изменения морфологии мишени.

Дата присуждения	6 апр. 2022
Язык оригинала	русский
Учреждение	Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук
Спонсоры	Институт физики микроструктур РАН – филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения «Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук», г. Нижний Новгород.
Руководитель	Николай Геннадьевич Коробейщиков (Научный руководитель)