Исследование морфологии и структуры тонких пленок нитрида алюминия методами зондовой и электронной микроскопии

Диссертация студента: Выпускная квалификационная работаВКР магистра

Аннотация

Мотивацией исследования является создание SMR BAW-резонатора в основе работы которого лежит возбуждение продольной объемной акустической волны в тонкой пленке AlN. Однако при создании тонкопленочного резонатора возникают сложности: определяющую роль играют технологические параметры роста пленок AlN.
Основной проблемой исследования является поиск оптимальных параметров роста тонких пленок AlN в магнетронной установке. В виду того, что параметров достаточно много (время напыления, температура мишени, напряжение на магнетроне, соотношение потоков газов, давление в камере, скорость роста пленок), то их анализ и представление несколько затруднено. В данной работе в качестве постоянных параметров выбраны: давление в камере магнетрона, температура подложки и соотношение потоков газов аргона и азота. Варьируются значения напряжения магнетронного разряда и времени напыления тонких пленок AlN.
Основными задачами исследования являются:
•определение морфологии и параметров шероховатости поверхности AlN методом атомно-силовой микроскопии;
•изучение зависимости пьезоэлектрических свойств AlN от мощности, подаваемой на мишень, методом пьезосиловой микроскопии;
•получение данных об элементном составе пленок AlN методикой РЭМ EDX;
•определение толщины, степени кристалличности и получение данных об внутренней структуре пленок методом просвечивающей электронной микроскопии, а также с помощью методики резки кросс-секции сфокусированным ионным пучком;
Целью данной работы является представление и анализ полученных данных вышеизложенными методами, а также поиск зависимостей характеристик пленок от параметров роста в магнетронной установке.
Дата присуждения21 июн. 2022
Язык оригиналарусский
РуководительПавел Викторович Гейдт (Научный руководитель)

Цитировать

'