Two-dimensional photonic crystals fabrication and close-packing by electron-beam lithography

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

1 Цитирования (Scopus)

Аннотация

It is brought an approach of creation and close-packing two-dimensional photonic crystals with given sizes of elements by the EBL. The main problems of formation these structures were considered.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикации2012 13th Annual International Conference and Seminar of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM'2012 - Proceedings
Страницы47-50
Число страниц4
DOI
СостояниеОпубликовано - 2012
Событие2012 13th Annual International Conference and Seminar of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM'2012 - Erlagol, Altai, Российская Федерация
Продолжительность: 2 июл 20126 июл 2012

Серия публикаций

НазваниеInternational Workshop and Tutorials on Electron Devices and Materials, EDM - Proceedings
ISSN (печатное издание)1815-3712

Конференция

Конференция2012 13th Annual International Conference and Seminar of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM'2012
СтранаРоссийская Федерация
ГородErlagol, Altai
Период02.07.201206.07.2012

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Two-dimensional photonic crystals fabrication and close-packing by electron-beam lithography». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать