Thermochemical High-ordered Surface Structure Formation with an Astigmatic Gaussian Beam on Metal Thin Films

A. V. Dostovalov, V. P. Korolkov, V. S. Terentyev, K. A. Bronnikov, S. A. Babin

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Аннотация

We present the results of high-ordered surface structure formation by femtosecond laser pulses (\lambda =1026 nm, \tau =232 fs) using an astigmatic Gaussian beam on the surface of thin metal films (thickness 30-40 nm) of Cr and Hf sputtered on the glass substrate. The difference in the structure quality and formation performance between the cases of Cr and Hf metal films was analyzed. The fabrication productivity increase by an order of magnitude was achieved in the case of Hf metal film.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикации2019 PhotonIcs and Electromagnetics Research Symposium - Spring, PIERS-Spring 2019 - Proceedings
ИздательInstitute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
Страницы3269-3272
Число страниц4
ISBN (электронное издание)9781728134031
DOI
СостояниеОпубликовано - июн 2019
Событие2019 PhotonIcs and Electromagnetics Research Symposium - Spring, PIERS-Spring 2019 - Rome, Италия
Продолжительность: 17 июн 201920 июн 2019

Серия публикаций

НазваниеProgress in Electromagnetics Research Symposium
Том2019-June
ISSN (печатное издание)1559-9450
ISSN (электронное издание)1931-7360

Конференция

Конференция2019 PhotonIcs and Electromagnetics Research Symposium - Spring, PIERS-Spring 2019
СтранаИталия
ГородRome
Период17.06.201920.06.2019

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Thermochemical High-ordered Surface Structure Formation with an Astigmatic Gaussian Beam on Metal Thin Films». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать

    Dostovalov, A. V., Korolkov, V. P., Terentyev, V. S., Bronnikov, K. A., & Babin, S. A. (2019). Thermochemical High-ordered Surface Structure Formation with an Astigmatic Gaussian Beam on Metal Thin Films. В 2019 PhotonIcs and Electromagnetics Research Symposium - Spring, PIERS-Spring 2019 - Proceedings (стр. 3269-3272). [9017747] (Progress in Electromagnetics Research Symposium; Том 2019-June). Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.. https://doi.org/10.1109/PIERS-Spring46901.2019.9017747