Surface smoothing of polycrystalline AlN thin films by argon cluster ions: 7th International Congress of Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE 2020):

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборникенаучнаярецензирование

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииSurface smoothing of polycrystalline AlN thin films by argon cluster ions
Подзаголовок основной публикации7th International Congress of Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE 2020): Abstracts.
Место публикацииТомск
Страницы256
Число страниц1
СостояниеОпубликовано - 2020

Цитировать