Study of TLIPSS formation on different metals and alloys and their selective etching

Alexandr V. Dostovalov, Victor P. Korolkov, Vadim S. Terentiev, Konstantin A. Okotrub, Fedor N. Dultsev, Anton Nemykin, Sergey A. Babin

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Аннотация

Experimental investigation of thermochemical laser-induced periodic surface structures (TLIPSS) formation on metal films (Ti, Cr, Ni, NiCr) at different processing conditions is presented. The hypothesis that the TLIPSS formation depends significantly on parabolic rate constant for oxide thin film growth is discussed. Evidently, low value of this parameter for Ni is the reason of TLIPSS absence on Ni and NiCr film with low Cr content. The effect of simultaneous ablative (with period ≈λ) and thermochemical (with period ≈λ) LIPSS formation was observed. The formation of structures after TLIPSS selective etching was demonstrated.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииLaser-Based Micro- and Nanoprocessing XI
РедакторыU Klotzbach, K Washio, R Kling
ИздательSPIE
Число страниц9
Том10092
ISBN (электронное издание)9781510606258
ISBN (печатное издание)978-1-5106-0626-5
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 янв 2017
СобытиеLaser-Based Micro- and Nanoprocessing XI 2017 - San Francisco, Соединенные Штаты Америки
Продолжительность: 31 янв 20172 фев 2017

Серия публикаций

НазваниеProceedings of SPIE
ИздательSPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING
Том10092
ISSN (печатное издание)0277-786X

Конференция

КонференцияLaser-Based Micro- and Nanoprocessing XI 2017
СтранаСоединенные Штаты Америки
ГородSan Francisco
Период31.01.201702.02.2017

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Study of TLIPSS formation on different metals and alloys and their selective etching». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать

    Dostovalov, A. V., Korolkov, V. P., Terentiev, V. S., Okotrub, K. A., Dultsev, F. N., Nemykin, A., & Babin, S. A. (2017). Study of TLIPSS formation on different metals and alloys and their selective etching. В U. Klotzbach, K. Washio, & R. Kling (Ред.), Laser-Based Micro- and Nanoprocessing XI (Том 10092). [100921H] (Proceedings of SPIE; Том 10092). SPIE. https://doi.org/10.1117/12.2251341