Результат исследования: Научные публикации в периодических изданиях › статья › рецензирование
Fingerprint
Подробные сведения о темах исследования «Структурные изменения в пленках кремний-на-изоляторе нанометровой толщины при высокотемпературном отжиге». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).