Structural Changes in Nanometer-Thick Silicon-on-Insulator Films During High-Temperature Annealing

Переведенное название: Структурные изменения в пленках кремний-на-изоляторе нанометровой толщины при высокотемпературном отжиге

I. E. Tyschenko, E. V. Spesivtsev, A. A. Shklyaev, V. P. Popov

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Структурные изменения в пленках кремний-на-изоляторе нанометровой толщины при высокотемпературном отжиге». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Технические дисциплины и материаловедение

Физика и астрономия

Химические соединения