Smoothing of Polycrystalline AlN Thin Films with Argon Cluster Ions

Переведенное название: Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Физика и астрономия