Removal of Oxides from the Surface (001)InP in Ultra-High Vacuum in an Arsenic Flux

Dmitriy V. Dmitriev, Ivan A. Mitrofanov, Danil A. Kolosovsky, Alexander I. Toropov, Konstantin S. Zhuravlev

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Аннотация

The process of transformation of structure and change of elemental composition of (001)InP in a flux of arsenic in ultra-high vacuum is studied in-situ by the method of reflection high-energy electron diffraction. The process of substitution of phosphorus by arsenic depending on the annealing conditions and the formation of the In$P_{x}A_{s1-x}$ layer are shown experimentally. At 500°C annealing temperature in the surface layer, the substitution of phosphorus by arsenic is 13%, at 540°C - 41%.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикации2020 21st International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM 2020
ИздательIEEE Computer Society
Страницы5-8
Число страниц4
ISBN (электронное издание)9781728168463
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 июл 2020
Событие21st International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM 2020 - Chemal, Российская Федерация
Продолжительность: 29 июн 20203 июл 2020

Серия публикаций

НазваниеInternational Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM
Том2020-June
ISSN (печатное издание)2325-4173
ISSN (электронное издание)2325-419X

Конференция

Конференция21st International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM 2020
СтранаРоссийская Федерация
ГородChemal
Период29.06.202003.07.2020

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Removal of Oxides from the Surface (001)InP in Ultra-High Vacuum in an Arsenic Flux». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать

    Dmitriev, D. V., Mitrofanov, I. A., Kolosovsky, D. A., Toropov, A. I., & Zhuravlev, K. S. (2020). Removal of Oxides from the Surface (001)InP in Ultra-High Vacuum in an Arsenic Flux. В 2020 21st International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM 2020 (стр. 5-8). [9153517] (International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM; Том 2020-June). IEEE Computer Society. https://doi.org/10.1109/EDM49804.2020.9153517