Precise sputtering of silicon dioxide by argon cluster ion beams

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

5 Цитирования (Scopus)

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Precise sputtering of silicon dioxide by argon cluster ion beams». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Технические дисциплины и материаловедение

Химические соединения