Precise sputtering of silicon dioxide by argon cluster ion beams

N. G. Korobeishchikov, I. V. Nikolaev, M. A. Roenko, V. V. Atuchin

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

5 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Precise sputtering of silicon dioxide by argon cluster ion beams». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Химические соединения

Технические дисциплины и материаловедение