Optical Properties of the SiO x (x < 2) Thin Films Obtained by Hydrogen Plasma Processing of Thermal Silicon Dioxide

V. N. Kruchinin, T. V. Perevalov, V. Sh Aliev, R. M.Kh Iskhakzai, E. V. Spesivtsev, V. A. Gritsenko, V. A. Pustovarov

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Optical Properties of the SiO<sub> x</sub> (x < 2) Thin Films Obtained by Hydrogen Plasma Processing of Thermal Silicon Dioxide». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Технические дисциплины и материаловедение

Физика и астрономия

Химические соединения