Optical Properties of the SiO x (x < 2) Thin Films Obtained by Hydrogen Plasma Processing of Thermal Silicon Dioxide

V. N. Kruchinin, T. V. Perevalov, V. Sh Aliev, R. M.Kh Iskhakzai, E. V. Spesivtsev, V. A. Gritsenko, V. A. Pustovarov

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Optical Properties of the SiO<sub> x</sub> (x < 2) Thin Films Obtained by Hydrogen Plasma Processing of Thermal Silicon Dioxide». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Химические соединения

Технические дисциплины и материаловедение

Физика и астрономия

Physics

Chemistry and Materials

General

Aerospace Sciences