On the Influence of a Faraday Shield on the Vortex Electric Field in a Radio-Frequency Plasma Generator

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Аннотация

In terms of a two-dimensional quasi-stationary model, an exact solution for the fields inside a circular solenoid with an alternating current and an inner coaxial thin-walled cylindrical shield with longitudinal slots of finite width is obtained. The solution of this problem allows one to estimate the influence of the Faraday shield on the profiles of the magnetic and electric fields in the radio-frequency plasma generator.

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)732-741
Число страниц10
ЖурналPlasma Physics Reports
Том47
Номер выпуска7
DOI
СостояниеОпубликовано - июл 2021

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «On the Influence of a Faraday Shield on the Vortex Electric Field in a Radio-Frequency Plasma Generator». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать