Numerical modelling of ferromagnetic enhanced inductively coupled plasma discharge parameters in oxygen

Nikon Demin, Alexander Fedoseev, Gennady Sukhinin, Mikhail Isupov

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Numerical modelling of ferromagnetic enhanced inductively coupled plasma discharge parameters in oxygen». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Технические дисциплины и материаловедение