Numerical modelling of ferromagnetic enhanced inductively coupled plasma discharge parameters in oxygen

Nikon Demin, Alexander Fedoseev, Gennady Sukhinin, Mikhail Isupov

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Аннотация

Global model for a low-frequency inductive discharge in pure oxygen is presented. Calculations of all basic plasma parameters were performed in a range of gas pressure of 0.1-10 Pa and a range of discharge power of 100-4000W for a large gas discharge chamber. It was found that plasma electronegativity changes non-monotonously with gas pressure and discharge power with a maximum at gas pressure of 1 Pa and discharge power of 1000 W.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииProceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020
ИздательInstitute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
Страницы657-661
Число страниц5
ISBN (электронное издание)9781728126869
DOI
СостояниеОпубликовано - 14 сен 2020
Событие7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020 - Virtual, Tomsk, Российская Федерация
Продолжительность: 14 сен 202026 сен 2020

Серия публикаций

НазваниеProceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020

Конференция

Конференция7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020
СтранаРоссийская Федерация
ГородVirtual, Tomsk
Период14.09.202026.09.2020

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Numerical modelling of ferromagnetic enhanced inductively coupled plasma discharge parameters in oxygen». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать