Novel single-source precursors for SiB:XCyNz film deposition

Ivan S. Merenkov, Boris A. Gostevskii, Pavel O. Krasnov, Tamara V. Basova, Yuri M. Zhukov, Igor A. Kasatkin, Sergey V. Sysoev, Victor I. Kosyakov, Maksim N. Khomyakov, Marina L. Kosinova

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

5 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Novel single-source precursors for SiB<sub>:X</sub>C<sub>y</sub>N<sub>z</sub> film deposition». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Химические соединения

Технические дисциплины и материаловедение