Novel single-source precursors for SiB:XCyNz film deposition

Ivan S. Merenkov, Boris A. Gostevskii, Pavel O. Krasnov, Tamara V. Basova, Yuri M. Zhukov, Igor A. Kasatkin, Sergey V. Sysoev, Victor I. Kosyakov, Maksim N. Khomyakov, Marina L. Kosinova

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

5 Цитирования (Scopus)

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Novel single-source precursors for SiB<sub>:X</sub>C<sub>y</sub>N<sub>z</sub> film deposition». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Технические дисциплины и материаловедение

Химические соединения