Аннотация
Разработаны процессы MOCVD осаждения пленок Pt x Ir(1- x ) с x < 0.3, толщиной 1.5-1.8 мкм в атмосфере кислорода на контакты диагностических электродов и титановые диски с использованием комбинации ацетилацетонатных (acac) производных Pt(II) и Ir(I) (Pt(acac)2, Ir(cod)(acac), где cod = циклооктадиен-1,5. Показано, что соотношение металлов в пленках, полученных на разных типах носителей в одном эксперименте, близко. Пленки содержат фазы твердых растворов Pt x Ir(1- x ) без примесей металлических и оксидных фаз, а соотношение металлов в объеме образцов соответствует экспериментально заданному. Согласно ЭДС и РФЭС, при формировании в приповерхностных слоях (10 нм) пленок фаз Pt x Ir(1- x ) содержание иридия понижено по сравнению с данными РФА. Поверхность пленок Pt x Ir(1- x ) состоит из агломератов, образованных мелкими частицами, средние размеры которых уменьшаются от 29 нм до 24-25 нм с понижением содержания Pt в интервале x = 0.3-0.2, и далее практически не меняются. Величины емкости образцов контактов с пленками Pt x Ir(1- x ) лежат в интервале 62.6-84.5 мКл/см2.
Переведенное название | Особенности микроструктуры иридийобогащенных пленок PtxIr(1-x), полученных методом химического осаждения из газовой фазы |
---|---|
Язык оригинала | английский |
Номер статьи | 14 |
Страницы (с-по) | 1447-1456 |
Число страниц | 10 |
Журнал | Journal of Structural Chemistry |
Том | 62 |
Номер выпуска | 9 |
DOI | |
Состояние | Опубликовано - сент. 2021 |
Предметные области OECD FOS+WOS
- 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
- 1.04 ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ
ГРНТИ
- 31.17 Неорганическая химия. Комплексные соединения