Laser beam diffraction inspection of periodic metal/oxide structures with infmicron period

Dmitrij A. Belousov, Victor P. Korolkov, Vladimir N. Khomutov, Ruslan K. Nasyrov

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

1 Цитирования (Scopus)

Аннотация

One of the promising methods for manufacturing high-aperture and inf-wavelength diffractive optical elements (DOE) is direct laser writing on thin metal films in regime of through oxidation. The amplitude diffractive metal/oxide structure is formed directly by localized laser heating without post-processing using liquid or dry etching. Optical diffractometry based on an analysis of the diffraction pattern obtained from a locally illuminated region of the grating is quite suitable indirect method for inspecting the metal/oxide gratings with a infmicron period. Measurement of the angular distribution of diffraction orders allows determining local period of the DOE structure, and measuring the intensity distribution over all diffraction orders allows determining the duty cycle of the grating. In this paper, the configurations of instrumentation schemes of metal/oxide gratings monitoring and algorithms for processing of diffraction patterns formed at illuminating the metal/oxide gratings by probe laser beam are considered.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииHolography
Подзаголовок основной публикацииAdvances and Modern Trends VI
РедакторыAntonio Fimia, Miroslav Hrabovsky, John T. Sheridan
ИздательSPIE
ISBN (электронное издание)9781510627260
DOI
СостояниеОпубликовано - 2019
Опубликовано для внешнего пользованияДа
СобытиеHolography: Advances and Modern Trends VI 2019 - Prague, Чехия
Продолжительность: 1 апр 20194 апр 2019

Серия публикаций

НазваниеProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Том11030
ISSN (печатное издание)0277-786X
ISSN (электронное издание)1996-756X

Конференция

КонференцияHolography: Advances and Modern Trends VI 2019
СтранаЧехия
ГородPrague
Период01.04.201904.04.2019

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03.SY ОПТИКА

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Laser beam diffraction inspection of periodic metal/oxide structures with infmicron period». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать