Investigation of the properties of hydrogenated carbon films (a-C: H) deposited on germanium using a linear anode layer ion source

Alexander Zolkin, Anna Semerikova, Sergey Chepkasov, Maxim Khomyakov

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Investigation of the properties of hydrogenated carbon films (a-C: H) deposited on germanium using a linear anode layer ion source». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Химические соединения

Технические дисциплины и материаловедение