Investigation of Hf(Zr)O2 film ferroelectric properties grown by atomic layer deposition method

Ramin M.H. Iskhakzay, Vladimir Sh Aliev, Vladimir A. Gritsenko

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Investigation of Hf(Zr)O<sub>2</sub> film ferroelectric properties grown by atomic layer deposition method». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Технические дисциплины и материаловедение

Физика и астрономия