Interaction of accelerated argon cluster ions with a silicon dioxide surface

N. G. Korobeishchikov, P. V. Stishenko, Y. A. Popenko, M. A. Roenko, I. V. Nikolaev

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

1 Цитирования (Scopus)

Аннотация

Gas cluster ion beams bring new opportunities for diagnostics and modification of materials surfaces. In this work impact of argon clusters on silicon dioxide has been studied by molecular dynamics simulations and experimentally. We have obtained dependencies of crater size and the SiO2 sputtering yield on cluster size and specific energy. High reactive selectivity of sputtered products has been revealed for a high specific energy of clusters. It can cause modification of the target surface layer composition in case of long time irradiation. Peculiarities of experimental and computational data matching have been discussed.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииOil and Gas Engineering, OGE 2017
РедакторыAV Myshlyavtsev, VA Likholobov, VL Yusha
ИздательAmerican Institute of Physics Inc.
Число страниц8
Том1876
ISBN (электронное издание)9780735415560
DOI
СостояниеОпубликовано - 23 авг 2017
СобытиеOil and Gas Engineering, OGE 2017 - Omsk, Российская Федерация
Продолжительность: 24 апр 2017 → …

Серия публикаций

НазваниеAIP Conference Proceedings
ИздательAMER INST PHYSICS
Том1876
ISSN (печатное издание)0094-243X

Конференция

КонференцияOil and Gas Engineering, OGE 2017
СтранаРоссийская Федерация
ГородOmsk
Период24.04.2017 → …

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Interaction of accelerated argon cluster ions with a silicon dioxide surface». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать