Influence of Precursor Gas Flow Rate on Fluoropolymer Coating Growth Rate During Hot Wire Chemical Vapor Deposition

Алена Леонидовна Богословцева, Алексей Иванович Сафонов, Вероника Суляева, Николай Иванович Тимошенко

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Язык оригиналаанглийский
ЖурналJournal of Applied Mechanics and Technical Physics
Том59
Номер выпуска5
СостояниеОпубликовано - 2018

Цитировать