Influence of magnetron sputtering modes of aluminum and aluminum nitride films on their surface, structure and composition

L. V. Baranova, V. I. Strunin, N. A. Chirikov

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатья по материалам конференциирецензирование

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Influence of magnetron sputtering modes of aluminum and aluminum nitride films on their surface, structure and composition». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Физика и астрономия