Influence of magnetron sputtering modes of aluminum and aluminum nitride films on their surface, structure and composition

L. V. Baranova, V. I. Strunin, N. A. Chirikov

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатья по материалам конференциирецензирование

Аннотация

To ensure the optimal combination of the properties of the thin-film layers of piezoelectric structures and achieve the required characteristics of resonators and devices for selecting and generating of the signals based on them, the influence of technological modes of aluminum nitride films formation on the surface morphology, structure and elemental composition of films used in the construction of microelectronic bulk acoustic waves (BAW) resonator with Bragg reflector, the optimal modes are determined that satisfy the requirements for film layers for a piezoelectric transducer and Bragg reflector.

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи012023
ЖурналJournal of Physics: Conference Series
Том1870
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 19 апр 2021
Событие1st All-Russian Conference with International Participation on Gas Discharge Plasma and Synthesis of Nanostructures, GDP_NANO 2020 - Kazan, Российская Федерация
Продолжительность: 2 дек 20205 дек 2020

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Influence of magnetron sputtering modes of aluminum and aluminum nitride films on their surface, structure and composition». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать