Hydrogen radical enhanced atomic layer deposition of TaOx: saturation studies and methods for oxygen deficiency control

Konstantin V. Egorov, Dmitry S. Kuzmichev, Andrey A. Sigarev, Denis I. Myakota, Sergey S. Zarubin, Pavel S. Chizov, Timofey V. Perevalov, Vladimir A. Gritsenko, Cheol Seong Hwang, Andrey M. Markeev

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

2 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Hydrogen radical enhanced atomic layer deposition of TaO<sub>x</sub>: saturation studies and methods for oxygen deficiency control». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Химические соединения

Технические дисциплины и материаловедение