Hafnia and alumina stacks as UTBOXs in silicon-on insulator

V. P. Popov, V. A. Antonov, A. K. Gutakovskiy, I. E. Tyschenko, V. I. Vdovin, A. V. Miakonkikh, K. V. Rudenko

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

3 Цитирования (Scopus)

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Hafnia and alumina stacks as UTBOXs in silicon-on insulator». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Технические дисциплины и материаловедение

Физика и астрономия

Химические соединения