Gas Dynamic Aspects of Silicon Thin Layers Deposition Using Excitation of Free Jet of Working Gas Mixture by Electron Beam: 28th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics. July 09-13, 2012. Zaragoza, Spain. rgd28.es/Book_of_Abstracts.pdf.

Петр Алексеевич Сковородко, Р.Г. Шарафутдинов , В.Г. Щукин, В.О. Константинов

    Результат исследования: Материалы конференцийматериалырецензирование

    Язык оригиналаанглийский
    Страницы193
    Число страниц1
    СостояниеОпубликовано - 2012

    Цитировать