Formation of periodic structure on amorphous silicon films by femtosecond laser pulses

A. V. Dostovalov, A. A. Kuchmizhak, K. A. Bronnikov, E. Mitsai, V. P. Korolkov, S. A. Babin

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Аннотация

In this paper, we report formation of laser-induced periodic surface structures (LIPSS) on amorphous silicon (a-Si) films of various thickness by their lateral scanning with fs laser pulses shaped to astigmatic Gaussian beam. Diverse LIPSS morphologies with characteristic periods ranging from 150 to 1000 nm were found to form upon variation of scanning speed and laser power.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииProceedings - International Conference Laser Optics 2020, ICLO 2020
ИздательInstitute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ISBN (электронное издание)9781728152332
DOI
СостояниеОпубликовано - 2 ноя 2020
Событие2020 International Conference Laser Optics, ICLO 2020 - St. Petersburg, Российская Федерация
Продолжительность: 2 ноя 20206 ноя 2020

Серия публикаций

НазваниеProceedings - International Conference Laser Optics 2020, ICLO 2020

Конференция

Конференция2020 International Conference Laser Optics, ICLO 2020
СтранаРоссийская Федерация
ГородSt. Petersburg
Период02.11.202006.11.2020

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03.UH ФИЗИКА, АТОМНАЯ, МОЛЕКУЛЯРНАЯ И ХИМИЧЕСКАЯ
  • 1.03.SY ОПТИКА

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Formation of periodic structure on amorphous silicon films by femtosecond laser pulses». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать