Formation of nanostructures on the surface of KTP single crystals by argon cluster ion beam

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатья по материалам конференции

1 Цитирования (Scopus)

Аннотация

In this work, the surface of potassium titanyl phosphate (KTP) single crystals has been processed by argon cluster ions having low energy per atom E/Nmean = 12.5 eV/atom. The formation of periodic nanostructures has been studied using atomic force microscopy (AFM) and the power spectral density (PSD) functions. To evaluate the processing efficiency, the dependence of the etching rate of KTP on the incident angles of cluster ions has been investigated. It is shown that the average etching rate Vetch varies between 0.46 and 1.1 nm/min with an incident angle change from 0? to 70?.

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи012162
Число страниц4
ЖурналJournal of Physics: Conference Series
Том1382
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 28 ноя 2019
Событие3th Siberian Thermophysical Seminar, STS 2019 - Novosibirsk, Российская Федерация
Продолжительность: 27 авг 201929 авг 2019

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Formation of nanostructures on the surface of KTP single crystals by argon cluster ion beam». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать