Formation of an ion-cluster beam for material processing

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование


In this paper the possibility of accelerating gaseous cluster-ion beams for nanomaterials processing are discussed. In order to realize surface processing technology, a high-energy gas cluster ion beam irradiation system was developed. The results of the experimental study of formation of an intense cluster-ion beam of argon and nitrogen are presented. The fundamental phenomenon influences on the main parameters of cluster-ion beam (cluster-ion size, energy, at al.) are considered.
Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)115-123
Число страниц9
Журнал Journal of International Scientific Publications
Номер выпуска2
СостояниеОпубликовано - 2012

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Formation of an ion-cluster beam for material processing». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).