Formation of an ion-cluster beam for material processing

N. G. Korobeishchikov, A. E. Zarvin, V. V. Kalyada, M. D. Khodakov

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданиях › статья › рецензирование

Аннотация

In this paper the possibility of accelerating gaseous cluster-ion beams for nanomaterials processing are discussed. In order to realize surface processing technology, a high-energy gas cluster ion beam irradiation system was developed. The results of the experimental study of formation of an intense cluster-ion beam of argon and nitrogen are presented. The fundamental phenomenon influences on the main parameters of cluster-ion beam (cluster-ion size, energy, at al.) are considered.
Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)115-123
Число страниц9
ЖурналJournal of International Scientific Publications
Том6
Номер выпуска2
СостояниеОпубликовано - 2012

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.1 НАНОТЕХНОЛОГИЯ
  • 2.02 ЭЛЕКТРОТЕХНИКА, ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА, ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.05 НАУКИ О ЗЕМЛЕ И СМЕЖНЫЕ ЭКОЛОГИЧЕСКИЕ НАУКИ

Доступ к документу

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Formation of an ion-cluster beam for material processing». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать