Аннотация
In this paper the possibility of accelerating gaseous cluster-ion beams for nanomaterials processing are discussed. In order to realize surface processing technology, a high-energy gas cluster ion beam irradiation system was developed. The results of the experimental study of formation of an intense cluster-ion beam of argon and nitrogen are presented. The fundamental phenomenon influences on the main parameters of cluster-ion beam (cluster-ion size, energy, at al.) are considered.
Язык оригинала | английский |
---|---|
Страницы (с-по) | 115-123 |
Число страниц | 9 |
Журнал | Journal of International Scientific Publications |
Том | 6 |
Номер выпуска | 2 |
Состояние | Опубликовано - 2012 |
Предметные области OECD FOS+WOS
- 2.1 НАНОТЕХНОЛОГИЯ
- 2.02 ЭЛЕКТРОТЕХНИКА, ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА, ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
- 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
- 1.05 НАУКИ О ЗЕМЛЕ И СМЕЖНЫЕ ЭКОЛОГИЧЕСКИЕ НАУКИ