Focus Probe Technique for Edge Detection and Linewidth Measurement of Microstructures with Nanometer Resolution

Kuang Chao Fan, Chi Duen Lin, Ruijun Li, Liang Chia Chen, Yuri Chugui

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

1 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Focus Probe Technique for Edge Detection and Linewidth Measurement of Microstructures with Nanometer Resolution». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Технические дисциплины и материаловедение