Finishing Surface Treatment of Potassium Titanyl Phosphate Single Crystals by Argon Cluster Ions

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатья

2 Цитирования (Scopus)

Аннотация

Abstract: It is demonstrated that a argon cluster ion beam can be used for the finishing treatment of ultrasmooth surfaces (with initial root-mean-square roughness below 0.3 nm) of potassium titanyl phosphate single crystals. Analysis of the power spectral density function of surface roughness showed that cluster-ion irradiation leads to removal of residual chemical contaminations from the subsurface layer and produces additional smoothing of the crystal surface in a broad range of spatial frequencies (ν = 0.2–100 μm –1 ).

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)274-277
Число страниц4
ЖурналTechnical Physics Letters
Том45
Номер выпуска3
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 мар 2019

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Finishing Surface Treatment of Potassium Titanyl Phosphate Single Crystals by Argon Cluster Ions». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать