Electron-Stimulated Aluminum Nitride Crystalline Phase Formation on the Sapphire Surface

Denis Milakhin, Timur Malin, Vladimir Mansurov, Yury Galitsyn, Konstantin Zhuravlev

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

1 Цитирования (Scopus)

Аннотация

The effect of a high-energy electron beam (11 keV) on the (0001) sapphire nitridation process is investigated. The high-energy electrons accelerate more than an order of magnitude the sapphire nitridation process. The effect is due to an increase of the Al and N atom concentrations on the sapphire surface caused by the electron-stimulated desorption of oxygen atoms and electron-stimulated decomposition of ammonia molecules.

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи1800516
Число страниц5
ЖурналPhysica Status Solidi (B) Basic Research
Том256
Номер выпуска6
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 июн 2019

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Electron-Stimulated Aluminum Nitride Crystalline Phase Formation on the Sapphire Surface». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать