Effect of terminal methyl groups concentration on properties of organosilicate glass low dielectric constant films

Chunhui Liu, Qi Qi, Dmitry S. Seregin, Alexey S. Vishnevskiy, Yingjie Wang, Shuhua Wei, Jing Zhang, Konstantin A. Vorotilov, Fedor N. Dultsev, Mikhail R. Baklanov

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

13 Цитирования (Scopus)

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Effect of terminal methyl groups concentration on properties of organosilicate glass low dielectric constant films». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Технические дисциплины и материаловедение

Физика и астрономия