Effect of deposition conditions on the thermal stability of Ge layers on SiO2 and their dewetting behavior

C. Dabard, A. A. Shklyaev, V. A. Armbrister, A. L. Aseev

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

2 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Effect of deposition conditions on the thermal stability of Ge layers on SiO<sub>2</sub> and their dewetting behavior». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Химические соединения

Технические дисциплины и материаловедение

Физика и астрономия

Engineering

General

Physics

Chemistry and Materials