Effect of annealing in oxidizing atmosphere on optical and structural properties of silicon suboxide thin films obtained by gas-jet electron beam plasma chemical vapor deposition method

A. O. Zamchiy, E. A. Baranov, I. E. Merkulova, V. A. Volodin, M. R. Sharafutdinov, S. Ya Khmel

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

7 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Effect of annealing in oxidizing atmosphere on optical and structural properties of silicon suboxide thin films obtained by gas-jet electron beam plasma chemical vapor deposition method». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Химические соединения

Технические дисциплины и материаловедение

Физика и астрономия

Engineering

General

Physics

Chemistry and Materials

Mathematical and Computer Sciences

Aerospace Sciences