Diagnostics of argon cluster ion beam for materials treatment

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатья по материалам конференции

2 Цитирования (Scopus)

Аннотация

The important parameters for materials surface processing by a gas cluster ions are the mass composition, total energy and energy per atom in the cluster, which depends on the ion beam charge state. The purpose of this work is an experimental characterization of argon cluster ion beam, based on an original time-of-flight technique. The mean sizes of the cluster ions obtained from the measured mass spectra are compared with the mean sizes of the primary neutral clusters. By analyzing the mass spectra at different electron ionization current, the average charge state of cluster ion beam is evaluated.

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи032016
Число страниц5
ЖурналJournal of Physics: Conference Series
Том1115
Номер выпуска3
DOI
СостояниеОпубликовано - 27 ноя 2018
Событие6th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects 2018, EFRE 2018 - Tomsk, Российская Федерация
Продолжительность: 16 сен 201822 сен 2018

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Diagnostics of argon cluster ion beam for materials treatment». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать