Development of sputter ion pump with strong magnetic field for obtaining of ultra-high vacuum

A. Semenov, V. Anashin, A. Krasnov

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Аннотация

It is required an ultra-high vacuum (near 1E-11 Torr in the beam absence mode) in the synchrotron source of 4th generation SFR “SKIF”. Owing to the vacuum chambers have small molecular conductivity and the space limitation for pumps location, compact combined pumps application is required, i.e. pump on the base of non-evaporable getter and sputter ion pump. The modern pumps NEXTorr (SAES Getters, Italy) are not implemented the all of requirements on argon and methane for SFR “SKIF”. Therefore, it is necessary to create similar combined pumps by Russian manufacture. The first theoretical pumping speed calculations for one cell of diode type sputter ion pump and the whole of sputter ion pump are presented here. Also experimental results of pumping speed measurements depending on the magnetic field, diameter and length of cell for sputter ion pump are given.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииSynchrotron and Free Electron Laser Radiation
Подзаголовок основной публикацииGeneration and Application, SFR 2020
РедакторыBoris Knyazev, Nikolay Vinokurov
ИздательAmerican Institute of Physics Inc.
ISBN (электронное издание)9780735440333
DOI
СостояниеОпубликовано - 17 ноя 2020
Событие2020 Internetional Conference on Synchrotron and Free Electron Laser Radiation: Generation and Application, SFR 2020 - Novosibirsk, Российская Федерация
Продолжительность: 13 июл 202016 июл 2020

Серия публикаций

НазваниеAIP Conference Proceedings
Том2299
ISSN (печатное издание)0094-243X
ISSN (электронное издание)1551-7616

Конференция

Конференция2020 Internetional Conference on Synchrotron and Free Electron Laser Radiation: Generation and Application, SFR 2020
СтранаРоссийская Федерация
ГородNovosibirsk
Период13.07.202016.07.2020

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Development of sputter ion pump with strong magnetic field for obtaining of ultra-high vacuum». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать