Determination of trap density in hafnia films produced by two atomic layer deposition techniques

D. R. Islamov, V. A. Gritsenko, M. S. Lebedev

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

3 Цитирования (Scopus)

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Determination of trap density in hafnia films produced by two atomic layer deposition techniques». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Химические соединения

Технические дисциплины и материаловедение

Физика и астрономия