Crystallization of optically thick amorphous silicon films by near-ir femtosecond laser processing

Eugeny Mitsai, Alexander Dostovalov, Kirill Bronnikov, Alexander Nepomniaschiy, Alexey Zhizhchenko, Aleksandr Kuchmizhak

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Аннотация

We demonstrated efficient crystallization of amorphous Si films induced by their direct irradiation with near-IR femtosecond laser pulses coming at sub-MHz repetition rate. Comprehensive analysis of morphology and composition of the laser-annealed film by atomic-force microscopy, Fourier-transform IR, Raman and energy dispersive X-ray spectroscopy as well as numerical modeling of optical spectra confirmed efficient crystallization of amorphous Si and high-quality of the obtained films opening pathway for applications in thin-film solar cells, transistors and displays.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииPhysics and Technology of Nanostructured Materials V - Selected full text papers from the 5th Asian School-Conference on Physics and Technology of Nanostructured Materials, ASCO-Nanomat 2020
РедакторыNikolay Gennadievich Galkin
ИздательTrans Tech Publications Ltd
Страницы134-139
Число страниц6
ISBN (печатное издание)9783035737936
DOI
СостояниеОпубликовано - 2020
Событие5th Asian School-Conference on Physics and Technology of Nanostructured Materials, ASCO-Nanomat 2020 - Vladivostok, Российская Федерация
Продолжительность: 30 июл 20203 авг 2020

Серия публикаций

НазваниеSolid State Phenomena
Том312 SSP
ISSN (печатное издание)1012-0394
ISSN (электронное издание)1662-9779

Конференция

Конференция5th Asian School-Conference on Physics and Technology of Nanostructured Materials, ASCO-Nanomat 2020
СтранаРоссийская Федерация
ГородVladivostok
Период30.07.202003.08.2020

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Crystallization of optically thick amorphous silicon films by near-ir femtosecond laser processing». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать