Correction of scanning steps to improve accuracy in interferometric profilometer

E. Sysoev, R. Kulikov, I. Vykhristyuk, Yu Chugui

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатья

1 Цитирования (Scopus)

Аннотация

In scanning interferometry of longitudinal shift, an uncertainty of required phase shift performance leads to a measurement error. Such uncertainty can be caused by external factors (vibrations, air turbulence in measuring area etc.) as well as inaccuracy of the scanning system. The method for calculating the phase shift between interferograms, which allows reducing the measurement error, is proposed. The results of numerical and full scale experiments are presented.

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)9-12
Число страниц4
ЖурналMeasurement Science Review
Том15
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 фев 2015

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Correction of scanning steps to improve accuracy in interferometric profilometer». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать