Atomic and Electronic Structure of SiOx Films Obtained with Hydrogen Electron Cyclotron Resonance Plasma

T. V. Perevalov, R. M.Kh Iskhakzai, V. Sh Aliev, V. A. Gritsenko, I. P. Prosvirin

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Atomic and Electronic Structure of SiO<sub>x</sub> Films Obtained with Hydrogen Electron Cyclotron Resonance Plasma». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Физика и астрономия