Applications of fs laser radiation for formation of thermochemical lipss on Cr films and fabrication of submicron amplitude gratings

A. V. Dostovalov, V. P. Korolkov, V. S. Terentyev, S. A. Babin

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Аннотация

The paper presents the results of the formation of thermochemical laser induced periodic surface structure on Cr thin films (40-350 nm) that was sputtered on the glass substrate. The different dependence of TLIPSS formation on processing rate in case of thin (40 nm) and thick (350 nm) is observed.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикации2017 Progress in Electromagnetics Research Symposium - Spring, PIERS 2017
ИздательElectromagnetics Academy
Страницы3768-3770
Число страниц3
ТомPart F134321
ISBN (электронное издание)9781509062690
DOI
СостояниеОпубликовано - 16 янв 2018
Событие2017 Progress In Electromagnetics Research Symposium - Spring, PIERS 2017 - St. Petersburg, Российская Федерация
Продолжительность: 22 мая 201725 мая 2017

Серия публикаций

НазваниеProgress in Electromagnetics Research Symposium
ISSN (печатное издание)1559-9450
ISSN (электронное издание)1931-7360

Конференция

Конференция2017 Progress In Electromagnetics Research Symposium - Spring, PIERS 2017
СтранаРоссийская Федерация
ГородSt. Petersburg
Период22.05.201725.05.2017

    Fingerprint

Цитировать

Dostovalov, A. V., Korolkov, V. P., Terentyev, V. S., & Babin, S. A. (2018). Applications of fs laser radiation for formation of thermochemical lipss on Cr films and fabrication of submicron amplitude gratings. В 2017 Progress in Electromagnetics Research Symposium - Spring, PIERS 2017 (Том Part F134321, стр. 3768-3770). (Progress in Electromagnetics Research Symposium). Electromagnetics Academy. https://doi.org/10.1109/PIERS.2017.8262413