Aluminium nitride thin films surface smoothing by argon cluster ions

Nikolay Korobeishchikov, Pavel Geydt, Ivan Nikolaev, Vladimir Strunin, Maxim Roenko

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Aluminium nitride thin films surface smoothing by argon cluster ions». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Технические дисциплины и материаловедение