Aluminium nitride thin films surface smoothing by argon cluster ions

Nikolay Korobeishchikov, Pavel Geydt, Ivan Nikolaev, Vladimir Strunin, Maxim Roenko

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Аннотация

In this paper, the opportunity of using an argon cluster ion beam for processing the surface of aluminium nitride polycrystalline thin films is studied. The treatment was carried out in two fundamentally different experimental modes, at high and low kinetic energy per atom in the cluster, 105 and 10 eV/atom, respectively. The possibility of highly effective smoothing of the surface of a nanostructured aluminium nitride thin film with a minimum depth of the removed (sputtered) material is demonstrated.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииProceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020
ИздательInstitute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
Страницы722-725
Число страниц4
ISBN (электронное издание)9781728126869
DOI
СостояниеОпубликовано - 14 сен 2020
Событие7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020 - Virtual, Tomsk, Российская Федерация
Продолжительность: 14 сен 202026 сен 2020

Серия публикаций

НазваниеProceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020

Конференция

Конференция7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020
СтранаРоссийская Федерация
ГородVirtual, Tomsk
Период14.09.202026.09.2020

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Aluminium nitride thin films surface smoothing by argon cluster ions». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать