A Study of the Gettering Characteristics of Getter Pumps for Different Gases

V. V. Anashin, A. A. Krasnov, A. M. Semenov

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Аннотация

The gettering characteristics of Ti–Zr–Al getter pumps with internal and external heaters have been measured for Н2 and CO. The results are compared to the measured similar characteristics of an NEX‑Torr D 100-05 combined pump from SAES Getters and a titanium sublimation film at temperatures of 300 and 77 K.

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)893-897
Число страниц5
ЖурналInstruments and Experimental Techniques
Том63
Номер выпуска6
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 дек 2020

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «A Study of the Gettering Characteristics of Getter Pumps for Different Gases». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать