A Laboratory CVD Reactor for the Synthesis of Vertically Oriented Carbon Nanotube Arrays

A. V. Gusel’nikov, A. V. Safronov, A. G. Kurenya, V. E. Arkhipov, S. G. Bolgarin, A. E. Ivanov, A. G. Kvashnin, A. V. Okotrub

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатья

2 Цитирования (Scopus)

Аннотация

The functional structure and the design of a CVD reactor for the synthesis of vertically oriented carbon nanotube (VOCNT) arrays on silicon substrates are described. To synthesize VOCNTs, various organic compounds, viz., toluene, cyclohexane, and acetonitrile, and their mixtures in the liquid state were tested under normal conditions.

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)604-609
Число страниц6
ЖурналInstruments and Experimental Techniques
Том61
Номер выпуска4
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 июл 2018

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «A Laboratory CVD Reactor for the Synthesis of Vertically Oriented Carbon Nanotube Arrays». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать

    Gusel’nikov, A. V., Safronov, A. V., Kurenya, A. G., Arkhipov, V. E., Bolgarin, S. G., Ivanov, A. E., Kvashnin, A. G., & Okotrub, A. V. (2018). A Laboratory CVD Reactor for the Synthesis of Vertically Oriented Carbon Nanotube Arrays. Instruments and Experimental Techniques, 61(4), 604-609. https://doi.org/10.1134/S002044121804019X