Аннотация

Исследованы антиотражающие свойства покрытий из диэлектрических частиц SiGe субволнового размера, выращенных на подложках Si(100) c использованием эффекта несмачиваемости Si слоями SiGe. Средний размер частиц задавался количеством осаждённого Ge и варьировался в диапазоне от 0,2 до 1,4 мкм. Изучаемое возбуждение магнитных и электрических резонансов в диэлектрических частицах SiGe приводило к уменьшению отражения приблизительно на 60 % в зависимости от среднего размера частиц по сравнению с отражением поверхности Si, не покрытой частицами. Распределение частиц по размеру обеспечило получение антиотражающих свойств в широком спектральном диапазоне, в котором частицы меньшего размера создавали более сильный антиотражающий эффект по сравнению с частицами большего размера. Модельные расчёты показали, что для частиц, расположенных на подложке, эффективность возбуждения магнитных и электрических резонансов имеет сильную зависимость от отношения высоты частиц к размеру их основания.
Переведенное названиеBroadband antireflection coating composed of resonant sige particles of subwavelenght size
Язык оригиналарусский
Номер статьи7
Страницы (с-по)58-69
Число страниц12
ЖурналАвтометрия
Том57
Номер выпуска5
DOI
СостояниеОпубликовано - нояб. 2021

Ключевые слова

  • МЕТАПОКРЫТИЯ
  • ЧАСТИЦЫ SIGE НА SI
  • РЕЗОНАНСЫ МИ
  • АНТИОТРАЖАЮЩИЕ СВОЙСТВА
  • ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
  • МЕТОД FDTD

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.02 КОМПЬЮТЕРНЫЕ И ИНФОРМАЦИОННЫЕ НАУКИ
  • 2.11 ПРОЧИЕ ТЕХНОЛОГИИ
  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ГРНТИ

  • 29.31 Оптика

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Широкополосные просветляющие покрытия из частиц SiGe субволнового размера». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать