Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Язык оригиналарусский
Название основной публикацииМатериалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника»
РедакторыД. В. Быков
Место публикацииМосква
ИздательМИЭМ НИУ ВШЭ
Страницы166-169
Число страниц4
ISBN (печатное издание)978-5-94506-334-1
СостояниеОпубликовано - 2012

Цитировать