Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей

Александр Евгеньевич Зарвин, Валерий Владимирович Каляда, Николай Геннадьевич Коробейщиков, Виталий Сергеевич Прощенко, Михаил Дмитриевич Ходаков, Алексей Александрович Шмаков

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Язык оригиналарусский
Название основной публикацииXVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции
Подзаголовок основной публикацииВакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.
РедакторыД. В. Быков
Место публикацииМосква
ИздательМИЭМ НИУ ВШЭ
Страницы17-20
Число страниц4
ISBN (печатное издание)978-5-94506-291-7
СостояниеОпубликовано - 2011

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

Цитировать