Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей

Александр Евгеньевич Зарвин; Валерий Владимирович Каляда; Николай Геннадьевич Коробейщиков; Виталий Сергеевич Прощенко; Михаил Дмитриевич Ходаков; Алексей Александрович Шмаков

Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей

Александр Евгеньевич Зарвин, Валерий Владимирович Каляда, Николай Геннадьевич Коробейщиков, Виталий Сергеевич Прощенко, Михаил Дмитриевич Ходаков, Алексей Александрович Шмаков

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › рецензирование

Язык оригинала	русский
Название основной публикации	Материалы XVIII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника».
Подзаголовок основной публикации	Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.
Редакторы	Д. В. Быков
Место публикации	Москва
Страницы	17-20
Число страниц	4
Состояние	Опубликовано - 2011

Цитировать

Зарвин, А. Е., Каляда, В. В., Коробейщиков, Н. Г., Прощенко, В. С., Ходаков, М. Д., & Шмаков, А. А. (2011). Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. В Д. В. Быков (Ред.), Материалы XVIII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника».: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г. (стр. 17-20).

Зарвин, Александр Евгеньевич ; Каляда, Валерий Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Прощенко, Виталий Сергеевич ; Ходаков, Михаил Дмитриевич ; Шмаков, Алексей Александрович. / Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. Материалы XVIII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника».: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.. редактор / Д. В. Быков. Москва, 2011. стр. 17-20

@inproceedings{173a55ff8a3b4581995499f6dd06fc94,

title = "Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей",

author = "Зарвин, {Александр Евгеньевич} and Каляда, {Валерий Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Прощенко, {Виталий Сергеевич} and Ходаков, {Михаил Дмитриевич} and Шмаков, {Алексей Александрович}",

year = "2011",

language = "русский",

isbn = "978-5-94506-291-7",

pages = "17--20",

editor = "Быков, {Д. В.}",

booktitle = "Материалы XVIII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника».",

}

Зарвин, АЕ , Каляда, ВВ , Коробейщиков, НГ, Прощенко, ВС, Ходаков, МД & Шмаков, АА 2011, Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. в ДВ Быков (ред.), Материалы XVIII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника».: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.. Москва, стр. 17-20.

Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. / Зарвин, Александр Евгеньевич ; Каляда, Валерий Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Прощенко, Виталий Сергеевич; Ходаков, Михаил Дмитриевич; Шмаков, Алексей Александрович.

Материалы XVIII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника».: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.. ред. / Д. В. Быков. Москва, 2011. стр. 17-20.

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › рецензирование

TY - GEN

T1 - Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей

AU - Зарвин, Александр Евгеньевич

AU - Каляда, Валерий Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Прощенко, Виталий Сергеевич

AU - Ходаков, Михаил Дмитриевич

AU - Шмаков, Алексей Александрович

PY - 2011

Y1 - 2011

M3 - статья в сборнике материалов конференции

SN - 978-5-94506-291-7

SP - 17

EP - 20

BT - Материалы XVIII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника».

A2 - Быков, Д. В.

CY - Москва

ER -

Зарвин АЕ , Каляда ВВ , Коробейщиков НГ, Прощенко ВС, Ходаков МД, Шмаков АА. Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. В Быков ДВ, редактор, Материалы XVIII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника».: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.. Москва. 2011. стр. 17-20