@inproceedings{173a55ff8a3b4581995499f6dd06fc94,
title = "Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей",
author = "Зарвин, {Александр Евгеньевич} and Каляда, {Валерий Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Прощенко, {Виталий Сергеевич} and Ходаков, {Михаил Дмитриевич} and Шмаков, {Алексей Александрович}",
note = "Зарвин А.Е., Каляда В.В, Коробейщиков Н.Г., Прощенко В.С., Ходаков М.Д., Шмаков А.А. Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей // XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов {"}Вакуумная наука и техника{"}, сентябрь 2011 г : материалы конференции / М-во образования и науки Российской Федерации, Российское науч.-техническое вакуумное о-во, Гос. учреждение {"}Науч.-исслед. ин-т микроэлектроники и информ.-измерительной техники МИЭМ{"}, Московский гос. ин-т электроники и математики (Технический ун-т). – Москва: МИЭМ, 2011. – С. 17-20.",
year = "2011",
language = "русский",
isbn = "978-5-94506-291-7",
pages = "17--20",
editor = "Быков, {Д. В.}",
booktitle = "XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов {"}Вакуумная наука и техника{"}, сентябрь 2011 г : материалы конференции",
publisher = "МИЭМ НИУ ВШЭ",
}