Язык оригинала | русский |
---|---|
Название основной публикации | Материалы XVIII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». |
Подзаголовок основной публикации | Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г. |
Редакторы | Д. В. Быков |
Место публикации | Москва |
Страницы | 17-20 |
Число страниц | 4 |
Состояние | Опубликовано - 2011 |
Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей
Александр Евгеньевич Зарвин, Валерий Владимирович Каляда, Николай Геннадьевич Коробейщиков, Виталий Сергеевич Прощенко, Михаил Дмитриевич Ходаков, Алексей Александрович Шмаков
Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › рецензирование