Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей

Александр Евгеньевич Зарвин, Валерий Владимирович Каляда, Николай Геннадьевич Коробейщиков, Виталий Сергеевич Прощенко, Михаил Дмитриевич Ходаков, Алексей Александрович Шмаков

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Язык оригиналарусский
Название основной публикацииМатериалы XVIII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника».
Подзаголовок основной публикацииВакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.
РедакторыД. В. Быков
Место публикацииМосква
Страницы17-20
Число страниц4
СостояниеОпубликовано - 2011

Цитировать